EMMI-微光显微镜

微光显微镜:微光显微镜是用制冷的CCD或 InGaAs相机在黑箱中捕捉芯片表面因漏电而发出的十分微弱的光线。有时候因芯片内部层数较多而微热的发光无法正面发出,则需要从背面进行分析。

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微光显微镜:

微光显微镜是用制冷的CCD或 InGaAs相机在黑箱中捕捉芯片表面因

漏电而发出的十分微弱的光线。有时候因芯片内部层数较多而微

热的发光无法正面发出,则需要从背面进行分析。


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